Generator kisika za polprevodnika

Predstavitev izdelka:

Prilagodljiva širitev:Podpira neodvisno delovanje z eno enoto ali vzporedno povezavo z več enotami, da zadovolji povpraševanje po kisiku od majhnih laboratorijev do obsežnih industrij.
Hiter odgovor:Čas preklopa adsorpcijskega stolpa je optimiziran na sekunde, da se zagotovi stabilen pretok kisika.
Nizki stroški vzdrževanja:Materiali, odporni proti koroziji, in sistem samočiščanja se uporabljajo za zmanjšanje pogostosti vzdrževanja izpadov.
Prihranek energije in visoka učinkovitost:Poraba energije je 30% nižja od porabe tradicionalnih procesov: poraba energije je optimizirana s tehnologijo za obnovitev tlaka in inteligentnim nadzornim sistemom.
24/7 neprekinjeno delovanje:Podpira popolnoma avtomatizirano delovanje brez ročnega intervencije.

Pošlji povpraševanje

Opis

Tehnične parametre

25+Dolgoletne izkušnje
v enem mestu

Newtek Gas predstavlja vrhunski sistem za proizvodnjo kisika PSA (adsorpcija tlačne gugalnice), posebej zasnovan za polprevodniško proizvodno okolje. Ta modularna rešitev prinaša 99,5% ultra visok kisik čistosti s hitrostmi pretoka, ki sega od 5-3000 nm³/h, ki vsebuje inteligentne integracijske zmogljivosti za operacije čistega prostora.

15K

Končani projekti

1280+

Strokovno osebje

15K

Stranke

100%

Pozitivne povratne informacije od sodelovanja

Ključne tehnične prednosti

Dual-column 13X molecular sieve system achieves >99.999% O₂ čistost
± 0. 5% koncentracijska stabilnost z analizo laserskega plina v realnem času
0. 1μm večstopenjska filtracija (HEPA+ULPA) zagotavlja skladnost ISO razreda 3

30% nižja poraba energije kot običajni sistemi
Sistem za obnavljanje toplote zmanjšuje toplotno obremenitev v okolju Fab
<65dB(A) noise level with acoustic enclosure option

Scaleble Skid nameščena zasnova podpira 20% -200% razširitev zmogljivosti

Enota za stiskanje zraka (tehnologija brez olja)

Čistilni stolp (samodejno odstranjevanje vlage TSA)

Pametna krmilna omara (PLC+HMI s protokolom SECS/GEM)

Uporaba polprevodniških procesov

✔ Termična oksidacija
Natančnost O₂ Dobava za rast oksida vrat (2-200} Å Nadzor debeline)
✔ suho jedkanje
Plazemsko stabilno oskrbo s plinom za vzorčenje nanoskalnic
✔ CVD komora
Ultra suh kisik za preprečevanje kontaminacije delcev
✔ ŽENInje rezin
Nadzor v atmosferi z visoko čistočo za aktivacijo dopanta

Pametni sistem spremljanja

Spremljanje nečistočev v realnem času (odkrivanje na ravni PPB)
Napovedno vzdrževanje z algoritmom AI (98 -odstotna natančnost)
Oddaljena diagnostika prek platforme IIOT (OPC UA/MTConnect)

Semi f 5-0202 Standardi za čiščenje plinov

CE/UL/ETL certificiranje za električno varnost

ISO 14644-1 združljivost razreda 3 razreda 3

zagotavljamo

▲ Globalna tehnična mreža:24/7 Večjezična podpora z<4hr response time
▲ Življenjski program optimizacije:Letna revizija učinkovitosti in molekularna nadomestna storitev sita (1- letna garancija)
▲Rešitve po meri:Prilagojena integracija s sistemi AMHS/MMC
in zasnovo sistema za obnovo plina

Obrnite se na naše strokovnjake za polprevodniške pline

📞 + 8615336587300
📧 sales@newtekgas.com
🌐 www.nektekgas.com

Priljubljena oznake: Generator kisika za polprevodnike, kitajski generator kisika za proizvajalce polprevodnikov, dobavitelji